Optische Oberflächenprüfung

Neben dem spezifizierten Bereich der Weißlichtinterferometrie wird im IKAM auch im Kompetenzbereich Optische Oberflächenprüfung das Verfahren der scannenden Weißlichtinterferometrie genutzt. Dabei wird in diesem Kompetenzbereich das optische Oberflächenmessgerät MicroProf® eingesetzt. Dieses wendet mit einem chromatischen Weißlichtsensor FRT CWL ein Messprinzip an, das auf dem wellenlängenabhängigen Brechungsindex von Linsen basiert. Das Weißlicht wird über eine Optik auf die Probe fokussiert und mit Hilfe dieser in Fokuspunkte verschiedener Farben und Höhen aufgefächert. Durch die Reflektion des fokussierten Lichtes gelangt das Weißlicht in ein Miniaturspektrometer. Mit Hilfe der berechneten jeweiligen Wellenlänge kann eine Berechnung über den Abstand des Sensors zur Probe erfolgen.

Inhaltliche Schwerpunkte

• Bestimmung der Topographie von Oberflächen
• Zerstörungsfreie Messungen von Rauheit, Welligkeit und Stufenhöhen
• Wafer-Untersuchung
• Berührungslose Schichtdickenbestimmung von dünnen sowie dicken Schichten (z. B. von transparenten, glatten Dünnfilmen)
• Schichtdickenmessung von Multilayern

Ausstattung

• Optisches Oberflächenmesssgerät MicroProf® der Firma FRT
• Optisches 3D-Profilometer Zygo NewView 7200
• Digitales Stereomikroskop Discovery V20 der Firma Zeiss

Besonderheiten

Mit dem vorhandenen Oberflächenprüfgerät können folgende Messungen durchgeführt werden:

• Zerstörungs- und berührungsfreie Messung
• 4.000 Messungen pro Sekunde
• Messung von Proben mit Maßen von bis zu 310 x 310 x 50 mm³ bei einem Gewicht von max. 5 kg

Vorteile sind:

• Kurze Messzeiten
• Großer Messbereich
• Robuste Bauweise
• Motorisierter Probentisch

Technische Daten:

• Motorisierter Probentisch mit um 200 mm verfahrbaren X und Y-Achsen
• Messbereich (z) von 300 μm mit einer vertikalen Auflösung von bis zu 3 nm und einer lateralen von 2,5 μm
• Messwinkel zur Probenoberfläche 90° ± 30°

Abgebote

IKAM bietet seinen Kunden die Unterstützung bei Forschungs- und Entwicklungsaufgaben sowie technische Dienstleistungen insbesondere bei der Qualitätssicherung bzw. -kontrolle durch

• Topographiebestimmung
• Rauheits- und Welligkeitsmessung
• Kontur- und Abstandsmessung
• Schichtdickenbestimmung

Unser Konsortialpartner in diesem Bereich ist die Firma PT&B SILCOR GmbH.

Optische Oberflächenprüfung