Weißlichtinterferometrie

Der Kompetenzbereich der Weißlichtinterferometrie greift auf den Einsatz eines hochmodernen optischen 3D-Profilometer, dem Zygo NewView 7200, zurück. Dieses Messverfahren nutzt dabei das Prinzip der scannenden Weißlichtinterferometrie mit einer vertikalen Auflösung von bis zu wenigen Atomabständen. Das im IKAM vorhandene NewView-System ist besonders für die Bereiche der Forschung und Entwicklung geeignet und gilt als Referenzsystem.

Inhaltliche Schwerpunkte

Die hohe vertikale als auch laterale Auflösung des scannenden Weißlichtinterferometers ermöglicht die Bestimmung von Rauheiten und Strukturen (Tribologie) auf der Nanometerskala von z. B. Masken und Sensoren.

Im Kompetenzbereich der Weißlichtinterferometrie wird die gezielte Herstellung von dünnen Metall- und Oxidschichten im Nanometerbereich für die Entwicklung von selektiven Absorbern sowie Antireflexionsschichten untersucht und optimiert.

Die Beurteilung und Analyse der Güte geschliffener und polierter Metalloberflächen (z. B. Implantate, Finishing) sowie die Untersuchung von strukturellen Oberflächenveränderungen bei Umformprozessen an dünnen Metallfolien bilden weitere inhaltliche Arbeiten in diesem Bereich.

Ausstattung

Optisches 3D-Profilometer Zygo NewView 7200 mit

• Manuell verfahrbaren Kippachsen
• Um 150 mm verfahrbare X- und Y-Achsen
• Um bis zu 150 µm vertikal bewegbare Objektive mittels piezoelektrischem Wandler
• Druckluftgefedertem Probentisch

Besonderheiten

Die Messmethode der scannenden Weißlichtinterferometrie nutzt den physikalischen Effekt der Interferenz zweier Wellen, wobei das NewView-System eine polychromatische Lichtquelle nutzt. Dieses Licht wird im Objektiv mit Hilfe eines Strahlteilers in zwei Strahlen aufgeteilt, die zu gleichen Teilen vom Testobjekt und von einem so genannten Referenzspiegel reflektiert werden. Diese dadurch erzeugten Interferenzen sind die Voraussetzung für die Erfassung von Oberflächeninformationen.

Das eingesetzte Messsystem ermöglicht:

• Mit Hilfe des motorisierten Probentisches das Stitchen von größeren Flächen
• Untersuchungen mit einer hohen Auflösung bis zu 0,3 nm
• Messungen von Prüfobjekten im Bereich von 89 x 203 x 203 mm³

Angebote

IKAM bietet seinen Kunden Untersuchungen und Entwicklungen basierend auf dem Verfahren der scannenden Weißlichtinterferometrie. Dabei können Rauheits- und Strukturmessung, Stufenmessung sowie die Bestimmung von Geometrien und Volumina in kürzester Zeit untersucht werden.

Unser Konsortialführer in diesem Bereich ist die Firma PT&B SILCOR GmbH.

Produktblatt Weißlichtinterferometrie